We offer high-speed gauges for photodiode array spectroscopy, film thickness measurement and PVD plasma emission monitoring, specially for process measuring and control tasks. - Dipl.-Ing. (FH) Thomas Fuchs , Engineer's Office for Applied Spectroscopy TranSpec - Film Thickness Measurement and Plasma Monitoring

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TranSpec-DSP Spektrometer in 19'' Einschubkassette

 


TranSpec-DSP Spezifikationen
Stand April 2003, alle Angaben ohne Gewähr, Technische Änderungen vorbehalten:

  • Mechanischer Aufbau
    • Standard 19'' Chassis mit 4 HU, EMV-geschützt, mit CE-Zertifizierung
    • Abmessungen: ca. 180 x 435 x 310 mm (H x B x T)
    • Gewicht: ca. 10 kg

  • Optische Komponenten
    • Spektrometermodule der Firma Carl Zeiss mit Standard FSMA Lichtleiteranschluss
    • Holographisch erzeugte Konkavgitter
    • Diodenzeilen mit 256, 512 oder 1024 Pixel, keine Kühlung notwendig
    • Dauerjustierte Module, keine mechanisch bewegten Teile, wartungsfrei
    • Modulspezifische Wellenlängenbereiche: 200 - 1100 nm
    • Modulspezifische spektrale Auflösung: 3 - 10 nm
    • Modulspezifischer spektraler Pixelabstand: ca. 0.8 - 3.3 nm
    • Absolute Wellenlängengenauigkeit: < 0.3 nm
    • Temperaturdrift: typisch < 0.005 nm / Kelvin

  • Analog/Digital Elektronik
    • 1 MHz 16 Bit AD-Wandler DATEL ADS 931 mit Sample & Hold
    • Effektiver Dynamikbereich: 16 Bit ± 0 Digits !
    • Effektive Wandelungsrate: 1 µs / Pixel

  • Integrierte System-Elektronik
    • DSP Computersystem basierend auf Texas Instruments TMS320C44 mit 60 MHz
    • Echtzeit-Spektrenrekorder mit 2 MByte (optional 8 MByte), 3600 Spektren bei 256 Dioden
    • 7-fach TTL Triggerein-/ausgang, typisch 1 µs
    • TTL Shutterkontrolle für DSL-1 Deuterium und HSL-2 Halogenlampe
    • TTL-Überwachung der HSL-2 Halogenbirne
    • Optional 4-fach D/A-Ausgang, 14 Bit bei 60 kHz
    • Link/RS-422 Interfacekarte und Kabel für den PC

  • Spektrenerfassung
    • Kleinste Integrationszeit: 0.4 ms / 256 Dioden - 0.7 ms / 512 Dioden - 1.2 ms / 1024 Dioden
    • Größte Integrationszeit: 5 Sekunden, wählbar in Schritten von 0.1 ms
    • Absolute Integrationszeitungenauigkeit: ± 1 µs max.
    • Reaktionszeit auf Integrations-Interrupt (TTL Trigger): < 1 ms, Softwaregesteuert
    • Gesamtsystemrauschen (Standardabweichung, Dunkelstrom bei 10 ms):
      5 Counts/ohne Mittelung, 1 Count/25 Messungen
    • Datums-und Uhrzeitkodierung aller Spektren mit einer Auflösung von 1 µs

      Repetitionsraten, verlustfrei im Dauerscan, inklusive möglicher Dunkelstromkorrektur
      und/oder Mittelung:


        PDA mit   256 Dioden:   2500 Spektren / Sek. (entsprechend 0.4 ms Integrationszeit)
        PDA mit   512 Dioden:   1428 Spektren / Sek. (entsprechend 0.7 ms Integrationszeit)
        PDA mit 1024 Dioden:     833 Spektren / Sek. (entsprechend 1.2 ms Integrationszeit)
 
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