We offer high-speed gauges for photodiode array spectroscopy, film thickness measurement and PVD plasma emission monitoring, specially for process measuring and control tasks. - Dipl.-Ing. (FH) Thomas Fuchs , Engineer's Office for Applied Spectroscopy TranSpec - Film Thickness Measurement and Plasma Monitoring

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TranSpec Spektrometermodule Typ MC (512 oder 1024 Dioden)

Die MC-Spectrometermodule haben eine Diodenzeile mit entweder 512 oder 1024 Pixel. Diese Module werden speziell für spektral hochauflösende Messaufgaben verwendet, wie z.B. für die Plasma-Emissionsmessung.

TranSpec MC-Modul

Modul-Typ Speltralbereich [nm] Anzahl Dioden Pixeldispersion [nm/Diode]
MC-UV 200-620 512 0.8
MC-VIS 360-780 512 0.8
MC-NIR 600-1020 512 0.8
MC-UV/NIR 200-1040 1024 0.8

 


TranSpec Spektrometermodule Typ MS (256 Dioden)

Die MS-Spektrometermodule haben eine Diodenzeile mit 256 Pixel. Diese Module werden speziell für Hochgeschwindigkeitsmessungen verwendet, bei denen eine hohe spektrale Auflösung nicht so wichtig ist.

TranSpec MS-Modul

Modul-Typ Spektralbereich [nm] Anzahl Dioden Pixeldispersion [nm/Diode]
MS-UV 200-400 256 0.8
MS-UV/VIS 200-740 256 2.1
MS-VIS 300-1140 256 3.2

 

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