We offer high-speed gauges for photodiode array spectroscopy, film thickness measurement and PVD plasma emission monitoring, specially for process measuring and control tasks. - Dipl.-Ing. (FH) Thomas Fuchs , Engineer's Office for Applied Spectroscopy TranSpec - Film Thickness Measurement and Plasma Monitoring

Home ] Up ] HSL-2 Halogen Spektralleuchte ] Broschüren ] Internationale Vertretungen ] Kontakt-Formular ] Schichtdickenmessung ] FTM-Lite Schichtdicken-Messgerät ] [ Plasma-Emissionsmessung ] TranSpec-DSP Spektrometer ]

Plasma-Emissionsmessung --- Messen Sie Ihr PVD-Plasma im gesamten UV...NIR Spektralbereich --- Simultan!

 
Eine objektive und kontinuierliche Prozessüberwachung von Niederdruck-Plasmen, wie z.B. die bei der PVD (Physical Vapor Deposition), ist immer noch eine der großen Aufgabenstellungen in der Betriebsmesstechnik. Neben der gemeinhin üblichen visuellen Begutachtung des Plasmas wird manchmal die Massenspektroskopie eingesetzt. Speziell die Massenspektroskopie ist jedoch schwer zu handhaben und die Messergebnisse sind nicht leicht zu interpretieren. Verglichen mit diesen Methoden liegen die Vorteile der OES (Optische Emissions Spektroskopie), unter Verwendung unserer Lichtleitergekoppelten TranSpec-DSP Spektrometer klar auf der Hand:

 


Technologische Highlights

Simultane Emissionsmessung im Spektralbereich 200...1000 nm
Erfassung auch geringster Emissions-Strahlungsleistung
An praktisch jeden Rezipienten anschliessbar
Wartungsfreie und einfach zu handhabende Technologie
Komfortable Systemsoftware TranSpec 2000


Plasma-Emissionsmessung - Applikationsschrift
    Applikationsschrift zur Plasma-Emissionsmessung als PDF-Datei



    Schematischer Aufbau

Die Plasma-Emission wird im Rezipienten über einen  flexiblen Vakuum-Lichtleiter erfaßt, welcher über einen Flansch mit einem normalen Lichtleiter ausserhalb des Rezipienten verbunden ist.

Beachten Sie auch, dass es durch die Verwendung der Vakuum-Lichtleiter möglich ist, die Emission auch an verschiedenen Stellen im Rezipienten zu messen!

TranSpec-Spektrometer für die Plasma-Emissionsmessung

Das Bild rechts zeigt einen KF-50 Vakuumflansch mit zwei FSMA Adaptern zum Anschluss eines Vakuum- und eines normalen Lichtleiters.

KF-50 Vakuumflansch mit Lichtleiter


    Zusätzliche Links

TranSpec 2000 Software
TranSpec-DSP Spektrometer
Broschüren und Applikationsschriften als PDF-Dateien

WB00677_.gif (630 bytes) Zurück zur Home Page

 


This Website was edited last on February 12, 2008

© Copyright 1998-2008 by Thomas Fuchs, Engineer's Office for Applied Spectroscopy, Germany


Company: 

Ing.-Buero Thomas Fuchs

Street Address: 

Bischof-Fischer-Str. 108

Zip and City:  

73430 Aalen - Germany

Phone Number: 

+49  (0)7361 - 97 53 28 0

Fax Number: 

+49  (0)7361 - 97 53 28 5

E-Mail: 

sales@applied-spectroscopy.com

VAT-ID: 

DE 167178636

WEEE-Reg. No.: 

DE 93698084