Engineer's Office for Applied Spectroscopy

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Eine objektive und kontinuierliche Prozessüberwachung von Niederdruck-Plasmen, wie z.B. die bei der PVD (Physical Vapor Deposition), ist immer noch eine der großen Aufgabenstellungen in der Betriebsmesstechnik. Neben der gemeinhin üblichen visuellen Begutachtung des Plasmas wird manchmal die Massenspektroskopie eingesetzt. Speziell die Massenspektroskopie ist jedoch schwer zu handhaben und die Messergebnisse sind nicht leicht zu interpretieren. Verglichen mit diesen Methoden liegen die Vorteile der OES (Optische Emissions Spektroskopie), unter Verwendung unserer Lichtleitergekoppelten TranSpec Spektrometer klar auf der Hand:
 

Technologische Highlights
Simultane Emissionsmessung im Spektralbereich 200...1000 nm
Erfassung auch geringster Emissions-Strahlungsleistung
An praktisch jeden Rezipienten anschliessbar
Wartungsfreie Technologie
Komfortable und einfach zu bedienende Software PEM-ProVis Professional

 Applikationsschrift
Schematischer Aufbau
 

Die Plasma-Emission wird im Rezipienten über einen  flexiblen Vakuum-Lichtleiter erfaßt, welcher über einen Flansch mit einem normalen Lichtleiter ausserhalb des Rezipienten mit dem TranSpec Spektrometer verbunden ist.

Beachten Sie auch, dass es durch die Verwendung der Vakuum-Lichtleiter möglich ist, die Emission auch an verschiedenen Stellen im Rezipienten zu messen!


Schematischer Systemaufbau
 
 

Das Bild rechts zeigt einen KF-50 Vakuumflansch mit zwei FSMA Adaptern zum Anschluss eines Vakuum-Lichtleiters im Rezipienten und eines normalen Lichtleiters außerhalb in Richtung TranSpec-Spektrometer.


KF-50 Flansch mit FSMA / FSMA Adapter

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