Eine objektive
und kontinuierliche Prozessüberwachung von Niederdruck-Plasmen, wie z.B. die bei der PVD
(Physical Vapor Deposition), ist immer noch eine der großen
Aufgabenstellungen in der Betriebsmesstechnik. Neben der gemeinhin üblichen visuellen
Begutachtung des Plasmas wird manchmal die Massenspektroskopie eingesetzt. Speziell die
Massenspektroskopie ist jedoch schwer zu handhaben und die Messergebnisse sind nicht
leicht zu interpretieren. Verglichen mit diesen Methoden liegen die Vorteile der OES (Optische
Emissions Spektroskopie), unter Verwendung unserer Lichtleitergekoppelten TranSpec-DSP
Spektrometer klar auf der Hand:
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Technologische
Highlights
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Simultane Emissionsmessung im Spektralbereich
200...1000 nm |
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Erfassung auch geringster
Emissions-Strahlungsleistung |
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An praktisch jeden Rezipienten anschliessbar |
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Wartungsfreie und einfach zu handhabende
Technologie |
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Komfortable
Systemsoftware TranSpec 2000 |
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Applikationsschrift zur Plasma-Emissionsmessung als PDF-Datei
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Schematischer Aufbau
Die
Plasma-Emission wird im Rezipienten über einen flexiblen Vakuum-Lichtleiter
erfaßt, welcher über einen Flansch mit einem normalen Lichtleiter ausserhalb des
Rezipienten verbunden ist.
Beachten Sie auch, dass es durch die Verwendung der Vakuum-Lichtleiter möglich ist, die
Emission auch an verschiedenen Stellen im Rezipienten zu messen!
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| Das Bild rechts
zeigt einen KF-50 Vakuumflansch mit zwei FSMA Adaptern zum Anschluss eines Vakuum- und
eines normalen Lichtleiters. |
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Zusätzliche Links
TranSpec
2000 Software
TranSpec-DSP Spektrometer
Broschüren und Applikationsschriften als
PDF-Dateien
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