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Schichtdickenmessung
Diese Seiten erläutern unsere
Schichtdicken-Messtechnologie mit Hilfe der Weißlicht-Interferenz. Die TranSpec
und FTM-Lite Schichtdickenmessgeräte bestimmen die Dicke von transparenten Schichten im Bereich
von circa 0.1-150 Mikrometer mit einer Genauigkeit von bis zu ± 5 Nanometer! |
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FTM-Lite ▪ Schichtdicken-Messgeräte
Unsere FTM-Lite Schichtdicken-Messgeräte sind speziell für manuell ausgeführte und
einfach zu handhabende, aber dennoch hochpräzise Schichtdickenmessungen
im Labor entwickelt worden. Die Geräte sind relativ handlich und verwenden
einen Standard USB 2.0 Anschluss. |
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Plasma-Emissionsmessung
Die TranSpec Spektrometer erlauben die Überwachung praktisch beliebiger Emissionslinien
Ihres PVD-Plasmas im gesamten UV-VIS-NIR Spektralbereich, simultan und in Echtzeit! Dies
ermöglicht auch eine unmittelbare Rückkopplung zur Kontrolle der Prozessgase. |
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TranSpec ▪ Diodenzeilen-Spektrometer
Diese Seite zeigt unsere TranSpec UV-VIS-NIR
Spektrometer, bei denen innovative Opto-Elektronik mit modernster
Digital-Elektronik kombiniert wurde. Die TranSpec Spektrometer werden hauptsächlich zur Schichtdickenmessung und zum Plasma-Monitoring
eingesetzt. |
