We offer high-speed gauges for photodiode array spectroscopy, film thickness measurement and PVD plasma emission monitoring, specially for process measuring and control tasks. - Dipl.-Ing. (FH) Thomas Fuchs , Engineer's Office for Applied Spectroscopy TranSpec - Film Thickness Measurement and Plasma Monitoring

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FTM-ProVis 2000 -- Software zur Schichtdickenmessung

 

Die Schichtdickensoftware FTM-ProVis 2000 wurde speziell für Bedürfnisse in der Prozess-Messtechnik ausgelegt. Zum Beispiel kann mit Hilfe von FTM-ProVis 2000 der eigentliche Schichtdicken-Sensor mit einer einachsigen Traversieranlage in Querrichtung zu einer Beschichtungsanlage vollautomatisch verfahren werden (siehe auch das Applikationsbeispiel Schichtdickenmessung auf Beschichtungs- oder Folienmaschinen).



Das Bild zeigt das Schichtdickenprofil einer Photoresist-Schicht,
 vollautomatisch mit einer 3-Achsen Traversieranlage gemessen.



FTM-ProVis 2000 Produktinformation
    FTM-ProVis 2000 Produktinformation als PDF-Datei


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