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Das neue FTM-Micro
Schichtdicken-Mikroskop benutzt dieselbe Weisslicht-Interferenzmethode zur
Bestimmung der Dicke von dünnen, transparenten Schichten wie unsere TranSpec
und FTM-Lite Schichtdicken-Messgeräte. Zur Messung der Dicke auf sehr
kleinen Flächen verwendet FTM-Micro jedoch ein spezielles,
Lichtleitergekoppeltes Mikroskop mit Live-Kamera.
Durch das Mikroskop kann der effektive Messfleck
des Y-Lichtleiters auf ca. 50-100 Mikrometer reduziert werden, in
Abhängigkeit der gewählten Vergrößerung durch das Objektiv. Gleichzeitig
wird das Mikroskopbild mit dem Messfleck über eine angeschlossene Farbkamera
direkt in der Software in Echtzeit visualisiert.
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