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Schichtdickenmessung von trockenen oder auch nassen Beschichtungen, mit der Möglichkeit zur simultanen Bestimmung der Dicke von Doppelschichtsystemen. Unsere Technologie wird von den in der Welt führenden Herstellern von Automobil-Streuscheiben und Compact-Discs benutzt. Das Bild zeigt das 3D-Schichtdickenprofil des Schutzlackes einer Compact-Disc im Bereich von 9-13 µm.
 

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Zur Bestimmung der Schichtdicke wird ein allgemein bekannter Effekt ausgenutzt, der z.B. bei Seifenblasen oder einem dünnen Ölfilm auf Wasser auftritt. Man sieht Farberscheinungen, die sich mit der Dicke der Schicht entsprechend ändern, indem z.B. eine Seifenblase weiter aufgeblasen wird. Besuchen Sie auch diese Soap Bubble Web Seite, die ein paar interessante Fotografien und weitere Erläuterungen zum Thema enthält!

Diese "Farben an dünnen Schichten" beruhen auf einer Interferenz - Erscheinung, das heißt auf der Überlagerung von Lichtwellen, die an der Vorder- und Hinterseite der Schicht (sprich: an zwei Grenzflächen unterschiedlicher optischer Dichte) reflektiert worden sind.

Die ungestörte Überlagerung der beiden reflektierten Lichtstrahlen 1 und 2 führt nun zu periodischen Aufhellungen (Verstärkung) und Auslöschungen (Abschwächung) im Spektrum eines weißen Kontinuumstrahlers, z.B. einer Halogenlampe.


Da die Überlagerungen der beiden Teilstrahlen nicht rein additiv ist, spricht man von einer Interferenz. Die Abbildung rechts zeigt beispielhaft das Interferenzspektrum einer 1 µm (Kurve oben) und einer 2 µm (Kurve unten) dicken Schicht.

Diese Interferenzspektren von dünnen transparenten oder teiltransparenten Schichten werden von unseren FTM-Lite Schichtdicken-Messgeräten oder einem TranSpec Prozess-Spektrometer gemessen und ausgewertet. Die Abbildung rechts zeigt schematisch den Aufbau eines solchen Schichtdicken - Messplatzes. Die zu messende Schicht wird über einen zweiarmigen Y-Lichtleiter bestrahlt, der mit dem Spektrometer und der Halogenleuchte ist. Das reflektierte Interferenzspektrum der Probe wird dem Spektrometer zugeführt, spektral analysiert und anschließend daraus die Schichtdicke berechnet.

     
  FTM-Lite NIR Schichtdicken-Messgerät               TranSpec Schichtdicken-Messgerät

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