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Technologische
Highlights |
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Optisches
Verfahren: berührungslos, zerstörungsfrei und nicht-radioaktive
Messmethode |
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Schnelle Messung und Auswertung -
innerhalb Millisekunden! |
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Großer
Schichtdicken-Messbereich: ~ 0.1 - 150 Mikrometer |
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Hohe Genauigkeit:
typisch besser ± 0.005 Mikrometer über den gesamten Bereich |
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Gleichzeitige Bestimmung der Dicke
von Doppelschichten möglich |
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Koordinatengesteuerte Messung mit
Traversieranlagen möglich |
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Messung auf sehr kleinen Flächen mit unserem FTM-Micro
Schichtdicken-Mikroskop |
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Applikationsschrift |
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Grundlagen zur Messmethode |
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Zur
Bestimmung der Schichtdicke wird ein allgemein bekannter Effekt ausgenutzt, der z.B. bei
Seifenblasen oder einem dünnen Ölfilm auf Wasser auftritt. Man sieht Farberscheinungen,
die sich mit der Dicke der Schicht entsprechend ändern, indem z.B. eine Seifenblase
weiter aufgeblasen wird. Besuchen Sie auch diese Soap Bubble Web Seite, die
ein paar interessante Fotografien und weitere Erläuterungen zum Thema enthält!
Diese
"Farben an dünnen Schichten" beruhen auf einer Interferenz - Erscheinung, das
heißt auf der Überlagerung von Lichtwellen, die an der Vorder- und Hinterseite der
Schicht (sprich: an zwei Grenzflächen unterschiedlicher optischer Dichte) reflektiert
worden sind. |

Das Interferenzmodell |
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Die ungestörte
Überlagerung der beiden reflektierten Lichtstrahlen 1 und 2 führt nun zu periodischen
Aufhellungen (Verstärkung) und Auslöschungen (Abschwächung) im Spektrum eines weißen
Kontinuumstrahlers, z.B. einer Halogenlampe.
Da die Überlagerungen der beiden Teilstrahlen nicht rein additiv ist, spricht man von
einer Interferenz. Die Abbildung rechts zeigt beispielhaft das Interferenzspektrum einer
1 µm (Kurve oben) und einer 2 µm (Kurve unten) dicken Schicht.
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Beispiele von Interferenzspektren |
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