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Technologische
Highlights |
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Optisches
Verfahren: Berührungslos, Zerstörungsfrei und Nicht-Radioaktiv |
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Schnelle Messung und Auswertung -
innerhalb Millisekunden! |
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Großer
Schichtdicken-Messbereich: ca. 0.1 - 150 µm |
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Hohe Genauigkeit:
typisch besser ± 0.005 µm |
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Gleichzeitige Bestimmung der Dicke
von Doppelschichten möglich |
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Koordinatengesteuerte Messung mit
Traversieranlagen möglich |
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Komfortable
Schichtdicken-Software FTM-ProVis Lite
und FTM-ProVis
2000 |
Applikationsschrift zur Schichtdickenmessung als
PDF-Datei
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Applikationsbeispiele |
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Schutzlack-Beschichtungen |
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Schichtdickenmessung
von trockenen oder auch nassen Beschichtungen, mit der Möglichkeit zur simultanen
Bestimmung der Dicke von Doppelschichtsystemen. Unsere Technologie wird von den in der
Welt führenden Herstellern von Automobil-Streuscheiben und Compact-Discs
benutzt. Das Bild zeigt das 3D-Schichtdickenprofil des Schutzlackes einer Compact-Disc im
Bereich von 9-13 µm. |
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Schichten aus der
Vakuum-Bedampfung (z.B. Parylene) und Photolacke |
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Die hochpräzise
Technik unserer Schichtdicken-Messgeräte ermöglicht die Bestimmung der Dicke sogar im
Submikro-Bereich. Das Bild zeigt das 3D-Schichtdickenprofil einer ca. 10 mm² großen
Diamantschicht auf Silizium in einem Dickenbereich von ca. 800-1000 Nanometer.
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Folienmessung - auch auf
Beschichtungsmaschinen |
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Unter Verwendung
von Traversieranlagen können Sie mit unseren Messgeräten das Schichtdickenprofil in
Längs- und/oder Querrichtung zur Folien- oder Beschichtungsmaschine bestimmen. Dies
erlaubt eine unmittelbare Kontrolle für Ihren Herstellungsprozess! Das Bild zeigt
schematisch die Schichtdickenmessung auf Anlagen zur Folienherstellung oder auf
Beschichtungsmaschinen. |
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Grundlagen zur Messmethode |
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Zur
Bestimmung der Schichtdicke wird ein allgemein bekannter Effekt ausgenutzt, der z.B. bei
Seifenblasen oder einem dünnen Ölfilm auf Wasser auftritt. Man sieht Farberscheinungen,
die sich mit der Dicke der Schicht entsprechend ändern, indem z.B. eine Seifenblase
weiter aufgeblasen wird. Besuchen Sie auch diese Soap Bubble Web Seite, die
ein paar interessante Fotografien und weitere Erläuterungen zum Thema enthält!
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Diese
"Farben an dünnen Schichten" beruhen auf einer Interferenz - Erscheinung, das
heißt auf der Überlagerung von Lichtwellen, die an der Vorder- und Hinterseite der
Schicht (sprich: an zwei Grenzflächen unterschiedlicher optischer Dichte) reflektiert
worden sind. |
Das Interferenzmodell |
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Die ungestörte
Überlagerung der beiden reflektierten Lichtstrahlen 1 und 2 führt nun zu periodischen
Aufhellungen (Verstärkung) und Auslöschungen (Abschwächung) im Spektrum eines weißen
Kontinuumstrahlers, z.B. einer Halogenlampe.
Da die Überlagerungen der beiden Teilstrahlen nicht rein additiv ist, spricht man von
einer Interferenz. Die Abbildung rechts zeigt beispielhaft das Interferenzspektrum einer
1 µm und einer 2 µm dicken Schicht.
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Beispiele von Interferenzspektren |
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Schematischer Messaufbau |
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Diese
Interferenzspektren von dünnen transparenten oder teiltransparenten Schichten werden von
unseren FTM-Lite Schichtdicken-Messgeräten oder einem TranSpec-DSP Spektrometer
mit einer HSL-2 Halogen Spektralleuchte gemessen und
ausgewertet. Die Abbildung unten zeigt schematisch den Aufbau eines solchen Schichtdicken
- Messplatzes. |
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Die zu messende
Schicht wird über einen zweiarmigen Y-Lichtleiter bestrahlt, der mit dem Spektrometer und
der Halogenleuchte ist. Das reflektierte Interferenzspektrum der Probe wird dem
Spektrometer zugeführt, spektral analysiert und anschließend daraus die Schichtdicke
berechnet.
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Schematischer Aufbau zur Schichtdickenmessung |
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