We offer high-speed gauges for photodiode array spectroscopy, film thickness measurement and PVD plasma emission monitoring, specially for process measuring and control tasks. - Dipl.-Ing. (FH) Thomas Fuchs , Engineer's Office for Applied Spectroscopy TranSpec - Film Thickness Measurement and Plasma Monitoring

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3D-Schichtdickenprofil einer Diamantschicht

Dieses Bild zeigt das 3D-Schichtdickenprofil einer ca. 10 mm² großen Diamantschicht auf Silizium in einem Dickenbereich von ca. 800-1000 Nanometer. Jede Farbe in dem Bild umfasst einen relativen Dickenbereich von nur 12 Nanometer. Beachten Sie auch die Feinstrukturen auf dem Plateau der Diamantschicht!

Dieses Beipiel verdeutlicht die hohe Präzision unserer TranSpec-Schichtdickenmessgeräte.
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